Déi flësseg Stickstoffkühlsystemer gi wäit an der Hallefleit- & Chipindustrie benotzt, dorënner de Prozess vun,
- D'Technologie vun der Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Den Test vum Chip nom COB Package
Zesummenhang Produkter
Vakuum isoléiert Pipe Serie
Vakuum isoléiert flexibelen Schlauch Serie
Dynamic Vakuum Pompel System
Vakuum isoléiert Phase Separator Serie
Vakuum isoléiert Krunn Serie
Piping System Ënnerstëtzung Equipement
MOLEKULÄR BEAM EPITAKSIE
D'Technologie vun der Molecular Beam Epitaxy (MBE) gouf an den 1950er Joren entwéckelt fir Hallefleit-Dënnfilmmaterialien mat Vakuumverdampungstechnologie ze preparéieren. Mat der Entwécklung vun ultra-héich Vakuum Technologie ass d'Applikatioun vun Technologie op d'Beräich vun der Halbleiterwëssenschaft erweidert ginn.
HL huet d'Demande vum MBE flëssege Stéckstoffkühlsystem gemierkt, organiséiert technesche Réckgrat fir erfollegräich e spezielle MBE flëssege Stickstoffkühlsystem fir MBE Technologie z'entwéckelen an e komplette Set vu Vakuum isoléierte Pipesystem, deen a ville Entreprisen, Universitéiten a Fuerschungsinstituter benotzt gouf. .
Déi allgemeng Probleemer vun der Halbleiter & Chipindustrie enthalen,
- Den Drock vu flëssege Stickstoff an Terminal (MBE) Ausrüstung. Verhënneren Drock Iwwerlaascht vum Damaging Terminal (MBE) Ausrüstung.
- Multiple Cryogenic Liquid Inlet an Outlet Kontrollen
- D'Temperatur vu flëssege Stickstoff an Terminalausrüstung
- Eng raisonnabel Quantitéit vun Cryogenic Gas Emissiounen
- (Automatesch) Wiessel vun Haapt- a Branch Linnen
- Drock Upassung (Reduktioun) a Stabilitéit vun VIP
- Déi méiglech Gëftstoffer an Äisreschter aus dem Tank botzen
- Füllzäit vum Terminal Liquid Ausrüstung
- Pipeline Precooling
- Flësseg Resistenz am VIP System
- Kontrollverloscht vu flëssege Stickstoff wärend dem kontinuéierleche Service vum System
HL's Vakuum Isoléiert Pipe (VIP) ass op ASME B31.3 Pressure Piping Code als Standard gebaut. Ingenieurserfarung a Qualitéitskontrollfäegkeet fir d'Effizienz a Käschteneffizienz vun der Fabrik vum Client ze garantéieren.
Léisungen
HL Cryogenic Equipment liwwert Clienten de Vakuum Isoléierte Piping System fir d'Ufuerderungen an d'Konditioune vun der Hallefleit- & Chipindustrie z'erhalen:
1.Quality Management System: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2.A Special Phase Separator mat Multiple Cryogenic Liquid Inlet an Outlet mat automatescher Kontrollfunktioun entsprécht der Fuerderung vun der Gasemissioun, recycléiertem flëssege Stickstoff an der Temperatur vu flëssege Stickstoff.
3.Adequat a rechtzäiteg Auspuffdesign garantéiert datt d'Terminalausrüstung ëmmer am entworfenen Drockwäert funktionnéiert.
4.D'Gas-Flësseg Barrière gëtt an der vertikaler VI Pipe um Enn vun der VI Pipeline plazéiert. Gas-Flësseg Barrière benotzt de Gas-Dichtungsprinzip fir d'Hëtzt vum Enn vun der VI Pipeline an d'VI Piping ze blockéieren, an effektiv de Verloscht vu flëssege Stickstoff während diskontinuéierlechen an intermittierenden Service vum System reduzéieren.
5.VI Piping Kontrolléiert duerch The Vakuum Isolated Valve (VIV) Serie: Inklusiv Vakuum Isoléiert (Pneumatesch) Shut-off Valve, Vakuum Isoléiert Kontrollventil, Vakuum Isoléiert Reguléierungsventil etc. néideg. VIV ass integréiert mat VIP Präfabrizéierung am Hiersteller, ouni isoléiert Behandlung op der Plaz. D'Dichtung Eenheet vu VIV kann einfach ersat ginn. (HL akzeptéiert d'Cryogene Ventil Marke vun de Clienten designéierte, a mécht dann Vakuum isoléiert Ventile vum HL. E puer Marken a Modeller vu Ventile kënnen net zu Vakuum isoléiert Ventile gemaach ginn.)
6.Cleanliness, wann et zousätzlech Ufuerderunge fir banneschten Rouer Uewerfläch Propretéit sinn. Et gëtt virgeschloen datt d'Clientë BA oder EP Edelstahlleitungen als VIP banneschten Päifen wielen fir d'Edelstahl Spillage weider ze reduzéieren.
7.Vakuum Isoléiert Filter: Botzen déi méiglech Gëftstoffer an Äisreschter vum Tank ewech.
8.No e puer Deeg oder méi laang Ausschalten oder Ënnerhalt ass et ganz néideg fir d'VI Piping an d'Terminalausrüstung virzekühlen, ier d'Kryogene Flëssegkeet eragitt, fir datt d'Eisschlacke vermeit ginn, nodeems d'Kryogen Flëssegkeet direkt an d'VI Piping an d'Terminausrüstung erakënnt. Precooling Funktioun soll am Design considéréiert ginn. Et bitt e bessere Schutz fir Terminalausrüstung a VI Piping Support Ausrüstung wéi Ventile.
9.Suit fir béid dynamesch a statesch Vakuum isoléiert (flexibel) Piping System.
10.Dynamic Vakuum Isoléiert (Flexibel) Piping System: besteet aus VI Flexibelen Schlauch an / oder VI Pipe, Jumper Schlauch, Vakuum isoléiert Ventil System, Phase Separatoren an Dynamic Vakuum Pompel System (dorënner de Vakuum Pompelen, Solenoid Ventile a Vakuum gauges etc. ). D'Längt vun Single VI Flexible Schlauch kann no Benotzer Ufuerderunge adaptéiert ginn.
11.Various Connection Typen: Vakuum Bayonet Connection (VBC) Typ a geschweißte Verbindung kann ausgewielt ginn. De VBC Typ brauch keng isoléiert Behandlung op der Plaz.
