D'Ofkillungssystemer mat flëssegem Stéckstoff gi wäit verbreet an der Hallefleeder- a Chipindustrie benotzt, dorënner de Prozess vun,
- D'Technologie vun der Molekularstrahlepitaxie (MBE)
- Den Chip säin Test nom COB-Package
Verwandte Produkter
Vakuum isoléiert Päif Serie
Vakuumisoléiert flexibel Schlauch Serie
Dynamescht Vakuumpompelsystem
Vakuumisoléiert Phasenseparator Serie
Vakuumisoléiert Ventil Serie
Ausrüstung fir d'Ënnerstëtzung vu Leitungen
Molekulare Strale-Epitaxie
D'Technologie vun der Molecular Beam Epitaxy (MBE) gouf an den 1950er Joren entwéckelt fir Hallefleeder-Dënnschichtmaterialien mat Hëllef vun der Vakuumverdampfungstechnologie ze preparéieren. Mat der Entwécklung vun der Ultrahochvakuumtechnologie gouf d'Uwendung vun der Technologie op d'Gebitt vun der Hallefleederwëssenschaft erweidert.
HL huet d'Nofro fir MBE-Kühlsystemer mat flëssegem Stéckstoff gemierkt, huet den technesche Réckgrat organiséiert fir erfollegräich e speziellt MBE-Kühlsystem mat flëssegem Stéckstoff fir d'MBE-Technologie an e komplette Satz vu vakuumisoléierte Leitungssystemer z'entwéckelen, déi a ville Betriber, Universitéiten a Fuerschungsinstituter agesat ginn.
Zu de gemeinsame Problemer vun der Hallefleeder- a Chipindustrie gehéieren:
- Den Drock vu flëssegem Stéckstoff an Terminal- (MBE)-Ausrüstung. Verhënnert datt Drockiwwerlaaschtung Terminal- (MBE)-Ausrüstung beschiedegt.
- Verschidde Kontrollen fir kryogen Flëssegkeetsin- an Auslaaf
- D'Temperatur vum flëssege Stéckstoff an den Terminalausrüstung
- Eng raisonnabel Quantitéit u kryogenen Gasemissiounen
- (Automatesch) Ëmschaltung vun Haapt- a Branchenleitungen
- Drockjustéierung (Reduktioun) a Stabilitéit vum VIP
- Méiglech Ongereimtheeten an Äisreschter aus dem Tank ewechhuelen
- Fëllzäit vun der Terminalflëssegkeetsausrüstung
- Virkillung vun der Pipeline
- Flëssegkeetsresistenz am VIP-System
- Kontrollverloscht vu flëssegem Stéckstoff während engem diskontinuéierleche Betrib vum System
D'Vakuumisoléiert Päif (VIP) vun HL gëtt no dem ASME B31.3 Drockleitungscode als Standard gebaut. Ingenieurserfahrung a Qualitéitskontrollfäegkeeten garantéieren d'Effizienz an d'Käschteeffizienz vun der Anlag vum Client.
LÉISUNG
HL Cryogenic Equipment bitt senge Clienten dat vakuumisoléiert Leitungssystem, fir den Ufuerderungen an de Konditioune vun der Hallefleeder- a Chipindustrie gerecht ze ginn:
1. Qualitéitsmanagementsystem: ASME B31.3 Drockleitungscode.
2. E spezielle Phasenseparator mat multiple kryogenen Flëssegkeetsanlaaf an -auslaf mat automatescher Kontrollfunktioun erfëllt d'Ufuerderunge vun der Gasemissioun, dem recycléierte flëssege Stéckstoff an der Temperatur vum flëssege Stéckstoff.
3. En adäquaten an zäitlechen Ofzuchsdesign garantéiert, datt d'Terminalausrüstung ëmmer bannent dem geplangten Drockwäert funktionéiert.
4. D'Gas-Flëssegkeetsbarriär gëtt am vertikale VI-Päif um Enn vun der VI-Päifleitung placéiert. D'Gas-Flëssegkeetsbarriär benotzt de Prinzip vun der Gasdichtung, fir d'Hëtzt vum Enn vun der VI-Päifleitung an d'VI-Päifleitung ze blockéieren an de Verloscht vu flëssege Stéckstoff effektiv während diskontinuéierlechen an intermittéierenden Operatioune vum System ze reduzéieren.
5.VI-Päifleitungen, déi vun der Vakuumisolatiounsventilserie (VIV) gesteiert ginn: Inklusiv vakuumisoléiert (pneumatesch) Ofspärventil, vakuumisoléiert Réckschlagventil, vakuumisoléiert Reguléierungsventil etc. Verschidden Zorte vu VIV kënne modular kombinéiert ginn, fir de VIP no Bedarf ze steieren. De VIV ass am Hiersteller mat der VIP-Prefabrizéierung integréiert, ouni isoléiert Behandlung virun Ort. D'Dichtungseenheet vum VIV kann einfach ersat ginn. (HL akzeptéiert d'Mark vu kryogenen Ventilen, déi vu Clienten uginn ass, a produzéiert dann vakuumisoléiert Ventiler vun HL. Verschidde Marken a Modeller vu Ventile kënnen eventuell net a vakuumisoléiert Ventiler ëmgebaut ginn.)
6. Rengheet, wa weider Ufuerderunge fir d'Rengheet vun der Uewerfläch vum bannenzege Schlauch bestinn. Et ass recommandéiert, datt de Clienten BA- oder EP-Edelstahlréier als VIP-Bannenréier wielen, fir d'Verschëtterung vum Edelstahl weider ze reduzéieren.
7. Vakuumisoléiert Filter: Méiglech Ongereinheeten an Äisreschter aus dem Tank ewechhuelen.
8. Nom Ausschalten oder Ënnerhalt vun e puer Deeg oder méi ass et ganz wichteg, d'VI-Päifleitungen an d'Terminalausrüstung virzekillen, ier d'kryogen Flëssegkeet erakënnt, fir Äisschlack ze vermeiden, nodeems d'kryogen Flëssegkeet direkt an d'VI-Päifleitungen an d'Terminalausrüstung erakënnt. D'Virkillfunktioun sollt beim Design berécksiichtegt ginn. Si bitt e bessere Schutz fir d'Terminalausrüstung an d'Ënnerstëtzungsausrüstung vun de VI-Päifleitungen, wéi z. B. Ventiler.
9. Gëeegent fir souwuel dynamescht wéi och statescht vakuumisoléiert (flexibelt) Päifsystemer.
10. Dynamescht vakuumisoléiert (flexibelt) Leitungssystem: Besteet aus flexiblen VI-Schläich an/oder VI-Päif, Jumperschläich, vakuumisoléiertem Ventilsystem, Phasentrenner an engem dynamesche Vakuumpompelsystem (inklusiv Vakuumpompelen, Magnetventile a Vakuummesser etc.). D'Längt vun engem eenzege flexible VI-Schlauch kann no de Bedierfnesser vum Benotzer personaliséiert ginn.
11. Verschidde Verbindungstypen: Et kënne souwuel Vakuum-Bajonettverbindung (VBC) wéi och geschweesste Verbindung ausgewielt ginn. Den VBC-Typ brauch keng isoléiert Behandlung virun Ort.
